Venus2000检测系统

 

 

    支持:

 

    》线宽/套刻/缺陷三合一功能

    》0.5um以上线宽量测

    》用户自定义缺陷检测

    》提供校准补偿功能

    》全自动聚焦功能

    》反射与透射测量功能

    》双屏显示器同时操作功能

 

 

  产品介绍:

 

  芯硕Venus2000检测设备可满足半导体制程中的光学检测需求,同时具有套刻、线宽和缺陷检测三种功能,可满足90nm工艺节点的套刻测量,0.5um以上的线宽测量及用户自定义的缺陷检测。Venus系列产品采用先进的图形处理技术和成像系统,具有测量精度高、速度快、应用灵活等特点,主要应用于半导体工艺、微纳加工、MEMS、LED等领域中的良率控制。

 

 

 

  指标